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    材料外延平台

          材料外延平台聚焦于第三代半导体材料的MOCVD外延,兼顾重大技术应用的基础研究,立足于广东省经济社会发展的实际需要,主要从事蓝宝石衬底和Si衬底上的光电器件(蓝光-紫外波段)和电子器件研发。

          材料外延平台配有Crosslight APSYS模拟软件,可以为外延生长提供器件结构设计指导;拥有Aixtron CRIUS-I 31×2" CCS MOCVD和Aixtron 3×2" HT-MOCVD(表面1450度)设备两台,配备EpiTTCurve和Argus原位监测系统,可支撑全组分AlInGaN材料的MOCVD外延;配有检测分析设备数十台,可满足绝大多数材料和器件特性的表征需求。

          材料外延平台研发团队由毕业于名古屋工业大学、新加坡国立大学、清华大学、北京大学、中山大学和华南师范大学等国内外知名科研机构的研究人员组成,具有丰富的外延经验,已承担国家重点研发计划、国家自然科学基金、广东省科技计划项目多项,在AlN和GaN材料和器件外延等方面取得一系列突破性进展。

          我们真诚欢迎致力于材料外延工作的同行与我们交流合作,也欢迎优秀的科研工作者加入我们。