• 比特币交易平台排名

    欢迎来到广东省半导体产业技术研究院网站!
    帐号密码

      会员注册

    检测分析设备

    Detection and analysis equipment

    金属电子束蒸发台

    设备名称:金属电子束蒸发台

    设备厂商:台湾聚昌

    工作原理:电子束斑聚焦到蒸发材料表面,使局部达到蒸发或升华温度,蒸发出来的原子沉积在基片表面,形成致密的金属薄膜。

    用途:蒸发Ti,Al,Ni,Cr,Pt,Au,Ag、Mo等金属

    技术指标:

    样品尺寸:67*2英寸、20*4英寸、7*6英寸

    基板加热温度:室温-250℃,控温精度1℃

    极限真空:2×10-7 torr

    蒸发均匀性:<±5%

    工艺特点:

    一炉可以依次蒸镀6钟不同金属;

    可以蒸镀高熔点金属Pt、W等